20世紀80 ~ 90年代以來，隨著半導體制造、精細化工、納米技術、生物醫(yī)學等領域的快速發(fā)展，氣體流量測量向小微方向發(fā)展，對小微流量的需求日益突出。目前用于微流量測量的測量儀器主要有電子皂膜流量計、活塞式根據(jù)密封方式的不同，可分為石墨和汞)等。而電子皂膜流量計成本低，使用方便，廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)、理化分析、科學實驗等各個領。

電子皂膜流量計有溫度、壓力、體積校正功能。用戶可以通過現(xiàn)場自校正，同時得到被測氣體的質量流量和體積流量，并進行統(tǒng)計計算。它適用于任何氣體流量的檢測。電子皂膜流量計主要如下：

1.適用于校準方法。將密封的皂液回收杯一直放在電子秤上，讀出蒸餾水排出過程中皂膜管內(nèi)液面位于下刻度線和上刻度線時的質量差，從而計算出標準體積。避免了常規(guī)標定帶來的液位弧度變化，無需反復移動肥皂回收杯，減少了操作帶來的誤差;在校準過程中，校準精度可以通過流量控制管和控制閥來控制，有效控制液體的分辨率可以達到0 .005ml，比常規(guī)控制精度高10倍。

2.還具有皂液回收功能，有效避免了皂液回流帶來的附加誤差，提高了皂膜流量計的準確度。同時避免了皂液的揮發(fā)和浪費。電子皂膜流量計正常運行后，可實現(xiàn)封閉運行，避免外界因素對流量計的影響。

3.常規(guī)電子皂膜流量計有0 .5的高精度水平，而電子皂膜流量計減少了操作過程中的影響因素，提高了標準體積的標定精度，避免了附加誤差的影響，提高了流量計的精度，可以達到0.2。

4.采用通訊裝置原理，實現(xiàn)了自動開膜方式，彌補了人工開膜的缺陷，減少了檢定誤差，提高了檢定效率。

電子皂膜流量計其準確性遠優(yōu)于用眼睛和手捏秒表間接判斷。用戶可以通過選擇不同量程的探頭和玻璃管來測量0.1 ml/min至50 l/min范圍內(nèi)的氣體或液體流量，電路控制單元本身可以實現(xiàn)多量程轉換，因此具有更廣泛的應用范圍。儀器本身具有校準功能，用戶可以現(xiàn)場自行校準。操作方便可靠，經(jīng)測試各項指標均滿足要求。